可燃性ガス

継続的に燃焼する性質のあるガスで、都市ガスやプロパンガスなどのガス燃料があげられます。「空気中の爆発下限界が10%以下のガス」あるいは「爆発限界の上限界と下限界の差が20%以上のガス等」と定義されています。また、可燃性(着火したり引火すると燃焼する)、自己分解性(衝撃や光が加わると爆発する)、発火性(空気に触れると自然発火する)の性質をもちます。

主なガスの紹介

水素(H2) メタン(CH4) プロパン(C3H8) シラン(SiH4)など

推奨モデル

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

多様な通信方式と、ワイドな流量制御範囲を誇る汎用モデル。

Mass Flow Controller SEC-E Series

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。

一般産業向けエコノミーマスフローコントローラ S48 Series

生産設備から各種実験・評価システムの正確なガス流量制御に活躍するエコノミーモデル。24V駆動モデルをラインナップ。

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株式会社堀場エステック
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