流量制御範囲と流量精度について

• 流量制御範囲
  マスフローコントローラの仕様を満足する流量制御域です。一般的には、フルスケール流量の2%以上が流量制御範囲としています。
• 流量精度
  マスフローコントローラでは、フルスケール(F.S.)精度、セットポイント(S.P.)精度の何れかが用いられています。フルスケール(F.S.)精度とは、校正流量の最大値に対する精度です。セットポイント(S.P.)精度とは、指示値に対する精度（不確かさ）です。

お客様ご自身でマスフローコントローラの仕様を変更できます。
マルチガス/マルチレンジ機能（デジタルマスフローコントローラ）

デジタルマスフローコントローラの高精度化対応
高精度デジタル流量補正
CRITERION：層流域差圧検出による高精度流量補正

高速応答性能
新開発のVariable PIDアルゴリズム(特許出願中)を搭載