SEF-8000F/D/E Series

高温対応デジタルマスフローメータ

 

高温対応デジタルマスフローメータ SEF-8000F/D/E シリーズは、高温環境(120℃)までの環境で使用できるモデルです。デジタル化により、流量精度・応答速度等の基本性能が向上しました。

幅広い産業でご使用いただいています

  • 各種生産装置への搭載:半導体、LED、光ファイバーグ
  • 精密水分添加システム、液体材料気化供給システム
  • ラボ:各種実験用ガス流量計測機器 等

 

 

 

事業セグメント: Semiconductor
製品分類: Fluid Control
製造会社: HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 15℃~120℃の高温対応モデル

  • ±1.0%S.P.(セットポイント)保証

  • 1秒以内(T98) Variable PID(特許出願中)を搭載

  • ウルトラクリーン対応

  • RoHS指令対応モデル

 

 

SEF-8000F/D/E Series 仕様一覧
 

外形寸法図・他(単位:mm)

 

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