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コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System
最適なプロセスの維持、品質・歩留り・装置稼働率の向上に貢献します。
N2、O2、Ar、H2O、CO2、Heなど
チャンバ壁面・基板からの放出ガスモニタ、外部リークチェックなど