PRODUCTS

コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System

残留ガス・不純物の計測


最適なプロセスの維持、品質・歩留り・装置稼働率の向上に貢献します。

N2、O2、Ar、H2O、CO2、Heなど

チャンバ壁面・基板からの放出ガスモニタ、外部リークチェックなど