プラズマエミッションコントローラ RU-1000

プラズマ発光強度をセンサーで捉え独自のアルゴリズムにより自社製高速応答マスフローコントローラに適切な反応性ガス流量の指示を行い金属モードに近い成膜速度の向上と共に安定な成膜を実現します。

プラズマ発光モニタ EV-140C

エンドポイントの検出またはプラズマのコンディション管理を行うプラズマ発光モニタ。

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株式会社堀場エステック
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