一次側元圧が急激に変動した場合、従来の機械式調圧器では応答性、調圧特性により二次側のMFCに影響を与えることがあります。また、微少流量域では、分解能の問題でハンチングのような現象をおこす場合もあります。高精度・高速応答のURにより、正確で安定な圧力制御が可能です。
MOCVD、液晶スパッタCVDなど大型装置でガスを分流しMFCで制御する場合、急激な流量変化により他のラインに影響を与えることがあります。この場合にも、URの高速かつ正確な圧力調整により、各MFCは互いに影響を及ぼすことなく安定な制御が可能です。
電気的信号による圧力制御が行える為、従来の調圧器では困難なガス配管のデザインを可能としました。シンプルな配管は、デッドボリュームが極少でガスの溜りがなく、置換性能が大幅に向上します。さらに操作パネルから圧力計や調圧器つまみがなくなります。
