堀場エステックのプロセスモニタリング機器で、品質の改善、不良の未然防止に、また各種制御機器へフィードバックコントロールすることで生産性向上に貢献します。

真空計測

コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System

チャンバ内に存在するガス成分をモニターする四重極質量分析計。

キャパシタンスマノメータ VG Series

コンパクト、オールメタル構造の自己温調型隔膜式真空計.

 

ガスモニタ

チャンバークリーニング終点検知用ガスモニタ IR-422 Series

プロセス装置に搭載し排ガス成分(SiF4、CF4)をリアルタイムにモニタリング可能。

ガス濃度モニタ IR-300 Series

バブリング供給ライン用インラインガス濃度モニタ。材料ガスの安定供給に。

チャンバクリーニング終点検知用ガスモニタ IR-200

排ガス成分をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタ。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
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