チャンバークリーニング終点検知用ガスモニタ IR-400 Series

概要

半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-400 Series は、排ガス成分(SiF4、CF4)をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタです。ドライクリーニング終点検知の最適化、クリーニングガス使用量および・時間の削減、チャンバーダメージの低減による部品の長寿命化に貢献します。

特長

  • 2成分同時モニタリング(SiF4,CF4) ※IR-422 Series のみ
  • 高感度
  • ガスセル加熱機能
  • アナログ/デジタル通信
  • マルチディスプレイ

製造会社: HORIBA STEC

アプリケーション

IR-400 Seriesとポンプを内蔵したユニット
NDIRユニット

  • 各種製造プロセス、設備の運用条件やレシピの最適化に貢献します。
  • ポンプを内蔵しており、差圧の確保が難しい使用環境でもご使用頂けます。
  • サンプルラインに希釈用マスフローコントローラを搭載することで、幅広い用途に対応可能です。
  • キャスター付で複数箇所でも使用可能です。

     ※詳細な仕様につきましては、ご相談ください。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

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株式会社堀場エステック
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圧力計測キャパシタンスマノメータ VG-200 Series

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