製造業

清掃工場や廃棄物発電所における塩化水素除去プロセスコントロールや煙道排ガス監視に適したレーザーガス分析計です。

原理：

紫外域～近赤外域まで対応のR&D向け高精度分光エリプソメーター

先端研究の薄膜・表面・界面の特性評価のために、UVISEL Plusは、モジュール式と性能面でベストな組み合わせを提供します。UVISEL Plusは、位相変調技術に基づき、紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの広範囲な波長域をカバーしており、高精度・高分解能測定・素晴らしいS/N比で、全波長域に渡って高品質な測定データを採取することができます。

UVISEL...

マルチガス分析計VA-5000シリーズは、CCUS、バイオマス発電、燃料電池・触媒評価など、カーボンニュートラルな社会の計測・分析ニーズに貢献します。

原理：

ウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。ピエゾアクチュエーターバルブを搭載し、高安定性・高精度を実現しています。

10μmの革命！真空チャンバ（デュアル・バキューム・チャンバ）装備によりサンプル形態・分析目的に合わせ、分析環境を切替、軽元素の高感度分析が可能！高純度Si半導体検出器搭載。