製造業

ウェットプロセスにおける硫酸・過酸化水素中のppmレベルのフッ酸濃度管理を実現

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適、低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度に測定

サーマルバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

ソレノイドバルブを搭載、コストメリットを追及したマスフローコントローラ

PDシリーズの高性能を継承しながら、一層の小型化により、優れたコストパフォーマンスを実現。レティクルストッカやステッパ、洗浄装置などへの組み込みも可能です。

レティクル反転機構0.5ー50μm選択可能検査系1系統装置内蔵／組合せ型

共存ガスの影響を受けない高精度で安定性にすぐれた、磁気圧力方式（圧力検出形）を使用した酸素ガス分析計です。

原理：

マスフローコントローラの動作確認を行う簡易チェッカです。

メタルO-リング対応の大流量モデル

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。

サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ