製造業

微少流量から大流量計測に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローメータ

サーマルバルブ搭載、マスフローメータのベーシックモデル

エンジンから排出される固体状粒子のうち、一定の粒径範囲の粒子数（PN）を高精度かつリアルタイムで測定します。ラボ間の移動・移設が容易なコンパクト設計で、研究開発から認証試験まで、幅広く対応します。

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ディーゼルエンジン排ガス中のスモークを高精度で測定します。規制に基づくオパシメータ（光透過式スモークメータ）による粒子状物質検査（PM検査）に対応しています。光反射式黒煙測定器に比べ、測定精度や再現性に優れています。

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小型でも高性能な分光器

新気化方式のトルネードフロー方式による高効率気化を実現した小型の液体材料気化システムです。低温度での安定気化が可能です。

気液混合気化方式を採用した小型液体材料気化システム。液体材料の高効率気化を実現。

カソードルミネッセンスMP-32S/Mは、サーマルタイプのフィールドエミッションSEMを使用し、今まで不可能だった微少領域における高空間分解能での評価を実現、サブミクロンの壁を突破しました。

SEMに取付るだけカソードルミネッセンススペクトルを簡単測定。

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。