SC-1モニタ CS-131

概要

CS-131は、半導体製造における洗浄工程のSC-1溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。パーティクルや有機物の除去に使われるSC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)の各成分濃度を常時モニタします。モニタ出力を用いたフィードバック制御を行うことにより、SC-1溶液の濃度を許容範囲に保つとともに無駄な薬液交換をなくすことができます。また冷却器一体型もラインアップし、広範囲なサンプル温度範囲に対応しました。

特長

  • 約2秒という測定周期(※)で300mmプロセスの濃度管理をサポート
    約2秒という短い測定周期(※)で高速応答性を実現。マルチバスはもちろん、ワンバス方式の洗浄装置のきめ細やかな濃度管理をサポートします。(※薬液の置換時間、冷却時間は含みません)
  • コンパクト設計により洗浄装置の省スペース化に貢献
    床面積従来比約2/3(※)のコンパクト化設計により洗浄装置の省スペース化に貢献。容易に洗浄装置へ組み込めます。
    (※当社製品CS-220シリーズとの比較)
  • 洗浄工程でのロット不良減少により歩留まり向上
    モニタ出力を用いてSC-1溶液の補給制御を行うことにより、再現性の高い洗浄を実現。洗浄工程でのロット不良を減少させ、歩留まり向上に貢献します。
  • フルオート測定で、簡単管理を実現
    ユーザはSC-1溶液を導入するだけ。測定はフルオートなので、測定開始後の制御は一切不要です。また、参照スペクトル測定は空気を使用するため、ユーティリティとしての水は不要です。
  • 万全の気泡対策により高温サンプルも測定可能
    脱泡槽にて気泡を分離し、測定中はさらに電磁弁によりフローセル内に気泡が混入するのを最少限に抑制。また冷却器一体型なら高温度のサンプルも直接モニタに流すことができます。
  • DC24Vを採用し、高い安全性を実現
    電源は、低電圧DC24Vを採用し、感電に対する安全性を一段と向上させました。また漏水センサ内蔵により漏水発生時にSC-1溶液供給遮断などの緊急対応を可能にしています。

設置例

価格

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
お見積もりをご希望のお客さまは、右上の「お問い合わせ」ボタンをクリックしていただき、お問い合わせ内容に「製品名」及び「見積希望」とご記入してお申し込みください。


製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

形式仕様

CS-131:冷却器無し
CS-131C:冷却器一体型

測定対象

SC-1(アンモニア/過酸化水素水溶液)

測定原理

吸収分光法

濃度算出原理

温度補償型多変量解析法

測定範囲
(質量%)

アンモニア:0.00~1.00% / 0.00~3.00% / 0.00~5.00%
過酸化水素:0.00~5.00% / 0.00~7.00% / 0.00~10.00%
水:94.0~ 100% / 90.0~ 100% / 85.0~100%

再現精度
(室温変化±1℃以内)
(質量%)

アンモニア: ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%
過酸化水素: ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%
水    : ±1.5% / ±1.5% / ±1.5%

薬液条件 温度

CS-131:20~30℃
CS-131C:20~80℃

薬液条件
流量

CS-131:20~60mL/min
CS-131C:20~40mL/min

薬液条件 圧力

0.10~0.20MPa

測定周期

最小で約2秒(薬液の置換時間・冷却時間は含みません)

設置温度

20~25℃

操作パネル

1)濃度測定値表示:アンモニア、過酸化水素、水
2)アラーム表示(アンモニア、過酸化水素):濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
3)アラーム値の設定(アンモニア、過酸化水素):濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限

シリアル入力

RS-232C
1)濃度データ:アンモニア、過酸化水素、水
2)アラーム値の設定(アンモニア、過酸化水素):濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限

パラレル入力

DC12~30V(フォトカプラ絶縁)
パラレル温度警報(有効/無効)

パラレル出力

オープンコレクタ出力ON 時最大電流:5mA、OFF時最大電圧:30V
1)アラーム出力(アンモニア、過酸化水素):濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
2)装置異常
3)液漏れ

アナログ出力

4~20mA(NH3濃度、H2O2濃度の2出力)
*レンジ仕様にかかわらず4~20mA出力を0~10%濃度に対応させることができます。(ご発注時にご指定)

電源

DC24V±10%2A

外形寸法

CS-131:205(W)×329(D)×269(H)
CS-131C:291(W)×329(D)×269(H)

質量

CS-131:約11kg
CS-131C:約12kg

取合配管寸法

導入用、排出用ともに外径3mm(内径2mm)

配管継手

日本ピラースーパータイプ

上記以外の仕様につきましては、ご相談ください。

外形寸法図・他(単位:mm)

外観図 (単位:mm)

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。

カスタマーサポートセンターでは、お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

HORIBA
カスタマーサポートセンター

フリーダイヤル 0120-37-6045
受付時間:
9:00~12:00/13:00~17:00
月曜日~金曜日(祝日をのぞく)