Industry
微量ガス分析計 GA-370
概要
微量ガス分析計GA-370は、水素ステーションや水素精製PSAシステム、半導体製造など高純度な産業ガス製造整備において微量不純物ガスをppbレベルで常時監視でき、品質管理に貢献する高精度ガス分析計です。1台で2成分の同時測定が可能です。
特長
- 超高感度分析を実現
▶ クロスモデュレーション方式非分散形赤外線吸収方式(NDIR)の採用により、長期にわたり安定した連続測定が可能なゼロドリフトフリーを実現しました。
▶ 最小検出感度10 ppbの高感度化により、精度が求められる現場に最適です。
純ガス中の微量測定が可能
▶ 代表的なガスである、N₂、O₂、He、Ar、H₂、Airに対応しています。
※その他のベースガスについては別途お問い合せください。簡単操作、メンテナンスフリー
▶ 使用にあたり、特殊な操作は必要ありません。校正や測定など、すべての操作が画面上で行えます。
▶ 光学調整が不要なHORIBA独自のクロスモデュレーション方式非分散形赤外線吸収方式の採用により、メンテナンスフリーを実現しました。
▶ カラータッチパネルを採用し、液晶画面によりグラフ表示も可能になり、視認性が向上しました。
関連アプリケーション
製造会社: HORIBA
仕様
形式 | GA-370 |
測定対象 | ベースガス（N2、O2、He、Ar、H2、Air）中のCO、CO2、CH4 |
測定成分数 | 1成分または2成分（測定ベースガス指定） |
測定原理 | クロスモデュレーション方式非分散形赤外線吸収方式 (NDIR) |
測定レンジ | 0～1/2/5/10 ppm |
最小検出感度（2σ） | 10 ppb |
繰返し性 | フルスケールの±2% |
直線性（指示誤差） | フルスケールの±2% |
ゼロドリフト | ±0.02 ppm/日、±0.03 ppm/週 |
スパンドリフト | フルスケールの±2%/日、フルスケールの±3%/週 |
応答時間 | 装置入口より90%応答 180秒以下 |
使用ガス流量 ※ | 試料ガス：約3.5 L/min、比較ガス：約3.5 L/min、スパンガス：約3.5 L/min |
アナログ出力 | 2ch 絶縁出力 （濃度） |
設置条件 | 周囲温度: 0～40℃ |
外形寸法、質量 | 430(W) x 221(H) x 555(D) mm （突起物を除く）、約18 kg |
電源 | AC 100～240 V ±10%（最大電圧：250 V） |
消費電力 | 定常時 約100 VA |
※注1） 比較ガス（ゼロガス）、スパンガスはお客様にてご準備をお願いします。測定対象ガスと同一ベースで、純度は最小レンジの0.1% 以下のものをご使用ください。スパンガス濃度は保証期間や、安定性の面から約9 ppmのものが便利です。
※注2） 本製品は防爆製品ではありませんので、非防爆地域でご使用ください。測定対象ガスがH₂､O₂の場合､特に安全性を考慮してご使用いただくと共に､ガス漏れ警報器､パージシステムの設置を推奨します。
カタログ
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