太陽光発電装置

The UVISEL FUV spectroscopic ellipsometer extends the UVISEL VIS down to 190 nm.

The UVISEL NIR spectroscopic ellipsometer extends the UVISEL VIS in the near infrared spectral range up to 2100 nm.

紫外域～近赤外域まで対応のR&D向け高精度分光エリプソメーター

先端研究の薄膜・表面・界面の特性評価のために、UVISEL Plusは、モジュール式と性能面でベストな組み合わせを提供します。UVISEL Plusは、位相変調技術に基づき、紫外域190nmから近赤外域2100nmまでの広範囲な波長域をカバーしており、高精度・高分解能測定・素晴らしいS/N比で、全波長域に渡って高品質な測定データを採取することができます。

UVISEL...

The UVISEL VIS spectroscopic ellipsometer covers the spectral range from 210 to 880 nm, and can be easily extended in both FUV and NIR range (see UVISEL FUV and NIR models). The measurement is performed in a few minutes and is extremely repeatable.

ウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。ピエゾアクチュエーターバルブを搭載し、高安定性・高精度を実現しています。