Industry

SPMモニタ CS-150

概要

CS-150は、半導体製造における洗浄工程のSPM溶液用の高精度な薬液濃度モニタで、従来にない高速応答性とコンパクト化を実現。レジスト剥離や有機物の除去に使われるSPM溶液(H₂SO₄/H₂O₂/H₂O)の各成分濃度をリアルタイムで測定し、アラームで自動補給するタイミングを知らせます。高速応答、短い測定周期の実現により濃度変化に対しても忠実に追従し、またコンパクト設計により容易に洗浄装置へ組込むことができます。

特長

約3秒という測定周期で300mmプロセスの濃度管理をサポート
約3秒という短い測定周期を実現。リアルタイムな濃度追随性を大幅に向上しました。マルチバスはもちろん、ワンバス方式の洗浄装置のきめ細やかな濃度管理をサポートします。
コンパクト設計により洗浄装置の省スペース化に貢献
床面積従来比約2/3(*)のコンパクト化設計により洗浄装置の省スペース化に貢献。容易に洗浄装置へ組み込めます。
*当社製品CS-340との比較
洗浄工程でのロット不良減少により歩溜まり向上
モニタ出力を用いてSPM溶液の補給制御を行うことにより、再現性の高い洗浄を実現。洗浄工程でのロット不良を減少させ、歩溜まり向上に貢献します。
フルオート測定で、簡単管理を実現
ユーザはSPM溶液を導入するだけ。測定はフルオートなので、測定開始後の制御は一切不要です。また、参照スペクトル測定は空気を使用するため、ユーティリティとしての水は不要です。
万全の気泡対策により、連続測定が可能
脱泡機能を内蔵し、フローセル直前で気泡を分離するため、液を流した状態での連続測定が可能になりました。
DC24Vを採用し、高い安全性を実現
電源は、低電圧DC24Vを採用し、約45Wと感電に対する安全性と省電力を一段と向上させました。また漏水センサ内蔵により漏水発生時にSPM溶液供給遮断などの緊急対応を可能にしています。

設置例

価格

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。
お見積もりをご希望のお客さまは、右上の「お問い合わせ」ボタンをクリックしていただき、お問い合わせ内容に「製品名」及び「見積希望」とご記入してお申し込みください。

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

形式:		CS-150 CS-150C
形式仕様:		CS-150：冷却器無し CS-150C：冷却器一体型
測定対象:		SPM(硫酸/過酸化水素水溶液)
測定原理:		吸収分光法
濃度算出原理:		温度補償型多変量解析法
測定範囲 (質量%):		硫酸：50.0-90.0% 過酸化水素：0.00-10.00% 水：0.0-50.0%
再現精度 (室温変化±1℃以内) (質量%):		硫酸：±0.5% 過酸化水素：±0.50% 水：±1.5%
薬液条件	温度	CS-150：20-30℃ CS-150C：20-60℃
	流量	CS-150：20-60mL/min CS-150C：20-40mL/min
	圧力	0.10-0.20MPa
測定周期:		最小で約3秒
設置温度:		20-25℃
操作パネル:		1)濃度測定値表示：硫酸、過酸化水素、水 2)アラーム表示(硫酸、過酸化水素)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 3)アラーム値の設定(硫酸、過酸化水素)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
シリアル入力:		RS- 232C 1)濃度データ：硫酸、過酸化水素、水 2)アラーム値の設定(硫酸、過酸化水素)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
パラレル入力:		DC12〜30V(フォトカプラ絶縁) パラレル濃度警報(有効/無効)
パラレル出力:		オープンコレクタ出力ON時最大電流：5mA、OFF時最大電圧：30V 1)アラーム出力(硫酸、過酸化水素)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 2)装置異常(液漏れを含む)、3 )測定中
アナログ出力:		4〜20mA (硫酸：50.0〜100.0%/過酸化水素：0.00〜10.00%) *電流出力のレンジ仕様については、お客様要求仕様に合すことができます。(ご発注時にご指定)
電源:		DC24V±10% 2A
外形寸法:		CS-150：205(W)×329(D)×269(H) CS-150C：291(W)×329(D)×269(H)
質量:		CS-150：約11kg CS-150C：約12kg
取合配管寸法:		導入用、排出用ともに外径6mm(内径4mm)
配管継手:		日本ピラースーパータイプ

上記以外の測定範囲につきましては、ご相談ください。

外形寸法図・他（単位：mm）