半導体

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適、低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度に測定

冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ＆メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。

液体材料の気化システムのベストセラーモデル。半導体や光ファイバー生産設備をはじめ、幅広い生産設備に採用されています。

液体材料を｢安全に」「無駄なく」「迅速に」液体材料気化システムへ自動供給できるオートレフィルシステム

メタルダイヤフラム、メタルO-リングを内蔵した高速応答ピエゾアクチュエータ―バルブ

ノンキャリアタイプのコンパクト液体材料気化システム。TEOS気化システムのベストセラーモデル。

信頼性の高いサーマルセンサ、ソレノイドバルブを搭載したアナログマスフローコントローラ。10SCCMから200SLMまでのワイドレンジコントロール。

微少流量から大流量計測に対応したソレノイドバルブ搭載のマスフローメータ

高分解能なステッピングモーターと独自構造のバタフライバルブにより高速応答・高分解能制御を実現した排気圧コントローラ

バイオリアクターの内部圧力を任意の値に一定に制御する排気圧コントローラ。各種培養プロセスにおける排気圧制御に最適です。