半導体

ウェットプロセスにおける硫酸・過酸化水素中のppmレベルのフッ酸濃度管理を実現

サーマルバルブ搭載の高安定性アナログマスフローコントローラ

体積管と石鹸膜ディテクタを組み合せ、ワンタッチ操作でガスの流量計測が可能。体積管内を移動する石鹸膜の移動時間を測定、大気圧・気温の値から自動補正し、ガスの流量を算出します。

マスフローコントローラの動作確認を行う簡易チェッカです。

マルチレンジ/マルチガス機能を搭載したデジタルマスフローコントローラのベストセラーモデル。±1.0%S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、5SCCMから500SLMのワイドレンジで、幅広いプロセスに貢献。

15℃から120℃までの高温環境対応のデジタルマスフローコントローラ

ウェハ裏面の温度制御に不可欠なガスの圧力制御に最適。ピエゾアクチュエーターバルブを搭載し、高安定性・高精度を実現しています。