デジタルマスフローコントローラー(デジタル式流体制御機器)

半導体製造プロセスにおいて、ガス、液体供給ラインの精密流量制御を行う機器です。ライン圧力変動、温度変動の影響を受ける事なく任意の流量制御を行います。世界に先駆けてCPUを内蔵した高性能、多機能なデジタルマスフローコントローラーの製品化を行っています。

 

薬液濃度モニター

半導体洗浄工程で洗浄液濃度を監視する小型モニターで、洗浄液の無駄を省きプロセスの最適化および生産ラインの歩留り向上に貢献。

 

残留ガス分析計

ナノレベルに達した最新の半導体プロセスでは、ウェハ表面で所定の化学的・物理的反応状態を再現出来るか否かが最大の課題とされています。とりわけ各種の真空デバイスを用いるドライプロセスでは反応容器に残留するガス計測と制御に注目されています。当社では、世界最小クラスの四重極質量分析型(Quadrupole Mass Spectrometer:QMS)の残留ガス分析計(RGA)をご提供しています。

PFC濃度モニター

半導体製造プロセスで使用されるPFCガスの濃度モニターです。PFCガスは地球温暖化ガスに指定されており、半導体工程での環境監視に貢献します。

 

レティクル/マスク異物検査装置

光学技術を駆使したレーザー散乱方式のレティクル/マスク異物検査装置です。1.5μmのラインアンドスペースのパターン上で0.35μm(PRPD3)の異物を検出できます。半導体製造ラインの露光工程において異物管理による歩留まり向上に貢献しています。