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  • MOCVD原料ガスの濃度モニタ例をご紹介します。

  • 測定フロー、ドライポンプ一次側、二次側測定結果等をご紹介します。

  • SiのDeep Trenchの干渉計(DIGILEM)による測定例 (ボッシュプロセス)

  • Nb/Auの干渉計による測定例

  • GaAs/AlGaAsの干渉計による測定例

  • InGaAs/InPの多層膜の干渉計による測定例