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GD-OES法は、一般的に数分、速い時は数秒という測定スピードで分析を完了させることが出来ます。これは、分析時のスパッタリング速度が約1~10μmという高速であるためです。
GD-OES法は、一般的に数分、速い時は数秒という測定スピードで分析を完了させることができる迅速表面分析法です。しかし、100μm程度が一般的に分析できる深さの限界と言われています。