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GD-OES法は、水素Hを分析することができるというユニークな特長を有しています。

rf-GD-OESは原子発光を応用した分光分析法のため、水素Hなどの軽元素の分析を行うことができます。

GD-OES法は、一般的に数分、速い時は数秒という測定スピードで分析を完了させることが出来ます。これは、分析時のスパッタリング速度が約1～10μmという高速であるためです。

GD-OES法は、一般的に数分、速い時は数秒という測定スピードで分析を完了させることができる迅速表面分析法です。しかし、100μm程度が一般的に分析できる深さの限界と言われています。

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