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新型のデジタルマッチング制御式高周波電源を用いれば、従来難しかった低い出力でのプラズマ点灯・スパッタが可能になるため、熱影響の大きい有機系試料へのダメージがより低減することが可能です。


試料導入系を弊社オリジナルの還元気化システムに交換し、なおかつ流動式に水銀を硫酸酸性下で還元気化させて測定する方法をプラスチック試料で試みたので紹介します。


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