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新型のデジタルマッチング制御式高周波電源を用いれば、従来難しかった低い出力でのプラズマ点灯・スパッタが可能になるため、熱影響の大きい有機系試料へのダメージがより低減することが可能です。


  • 分光エリプソメーターによるパッケージアプリケーションの評価例 

  • 透明電極(ZnO)の解析例(英文) 

  • 分光エリプソメーターを使った有機ELの構造評価(応用編)
    封止膜、劣化状態 

  • 分光エリプソメーターを使った有機ELの構造評価(基礎編)
    多層膜解析

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