デジタルマスフローコントローラ　SEC-N100 Series

Digital Mass Flow Controller SEC-N100 Series

概要

10 SCCMから1000SLMのワイドな流量制御範囲、デジタル・アナログ、 DeviceNet™, CC-Link®、PROFIBUS™, EtherCAT®から選べる通信方式を持つ多様な産業やアプリケーション向けの汎用モデルデジタルマスフローコントローラです。±1.0% S.P.の高精度、フルレンジ1秒以内の高速応答、マルチレンジ/マルチガス機能も兼ね備えています。　

特長

  • 選べる通信方式
    デジタル/アナログ、DeviceNet™, PROFIBUS®, CC-Link®, EtherCAT®をラインナップ

通信方式

駆動電源

製品型式

デジタル通信

・RS-485 F-Net protcol

アナログ通信

・0~5VDC

±15VDC(±5%)※

SEC-N102 Series

DeviceNetTM通信

ODVA規格

SEC-N104 Series

CC-Link®通信

アナログ通信

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

24VDC（13~32VDC）

SEC-N105 Series

プロフィバス通信

アナログ通信

・0~5VDC 0~10VDC

・4~20mA

プロフィバス規格

24VDC(13~32VDC)

SEC-N106 Series

EtherCAT®通信

EtherCAT　規格

24VDC +/-4V

SEC-N107 Series

 

10 SCCMから1000 SLMまでのワイドな流量制御範囲 
流量制御範囲はフルスケール流量値の2%から行えます。

  • 高精度：±1.0% S.P.流量精度の向上
    セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載
  • 全流量域にわたる高速応答:フルレンジ1秒以内
  • マルチガス/マルチレンジ機能を搭載
    ユーザーサイドでガス種・フルスケール流量を変更可能。

製造会社: HORIBA STEC

仕様

SEC-N100 Series 仕様一覧

 

外形寸法図（単位：mm）

 

SEC-N100 Series 外形寸法図

測定原理

流量精度の向上

 

  • セットポイント精度を実現したデジタル補正機能を搭載
    多項式近似曲線による高度なデジタル流量補正を施す事により、全流量域における流量精度の向上を実現しました。また多種のプロセスガス流量を高精度流量計測システムを用いて計測し、プロセスガス流量精度の向上を図っています。
    　　　　　　　

全流量域にわたる高速応答

 

  •  新開発のVariable PIDアルゴリズムを搭載：フルレンジ1秒以内
    全流量域にわたる高速応答を可能とするVariable PIDアルゴリズム（特許出願中）を新たに搭載しました。Variable PIDアルゴリズムとは、設定流量に応じた最適PID係数を用いる制御方式です。フルスケール流量・ガス種の変更後も高速応答を実現しています。ハイエンドモデル：SEC-Z500X Seriesに標準搭載し半導体プロセスにおいて高い評価を得ています。

　　　　　　 

アプリケーション

幅広い産業でご使用いただいています

  • 各種生産装置への搭載：半導体、液晶、LED、太陽電池、パワー半導体、光ファイバー、コーティング 等
  • 一般産業：バーナーガス制御、雰囲気ガス制御、混合ガス発生、通気量計測 等
  • 研究・開発：各種ガスセンサー性能評価機器、触媒性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器 等
  • ラボ：各種実験用ガス流量制御機器、サンプリングガス流量制御機器 等

 

マルチガス・マルチレンジ フルスケール流量の一例