チャンバークリーニング終点検知用ガスモニタ IR-400 Series

チャンバークリーニング終点検知用ガスモニタ IR-422 Series
チャンバークリーニング終点検知用ガスモニタ IR-432 Series

概要

半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-400 Series は、排ガス成分（SiF4、CF4）をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタです。ドライクリーニング終点検知の最適化、クリーニングガス使用量および・時間の削減、チャンバーダメージの低減による部品の長寿命化に貢献します。

特長

  • 2成分同時モニタリング（SiF4,CF4）　※IR-422 Series のみ
  • 高感度
  • ガスセル加熱機能
  • アナログ/デジタル通信
  • マルチディスプレイ

製造会社: HORIBA STEC

アプリケーション

IR-400 Seriesとポンプを内蔵したユニット
NDIRユニット

  • 各種製造プロセス、設備の運用条件やレシピの最適化に貢献します。
  • ポンプを内蔵しており、差圧の確保が難しい使用環境でもご使用頂けます。
  • サンプルラインに希釈用マスフローコントローラを搭載することで、幅広い用途に対応可能です。
  • キャスター付で複数箇所でも使用可能です。

　　　　　※詳細な仕様につきましては、ご相談ください。