- 高い絶対精度:±0.1°C※と再現性(2σ):0.1°C※を実現
- 測定距離150mmにおいてΦ8mmの狭視野を実現
- 汎用性の高い電流出力と、電磁誘導ノイズの影響を受けにくい光デジタル出力の2系統の出力を用意
※一定条件下で使用した場合の実力値です。
用途
- サセプタが真空チャンバー内にある場合の温度測定例
窓を通して真空チャンバーの外からサセプタの温度測定が可能です。
- FPD製造プロセスにおける液晶基板の表面温度測定例
非接触測定のため、被測定物の表面に傷が付いたりすることがありません。
- 研磨時の温度管理例
非接触測定のため、被測定物の表面に傷が付いたりすることがありません。
注記
本製品の性能を最大限に引き出すため、お客様のご用途の詳細(測定対象物や設置環境など)をもとに、お打合せ、お見積させていただきます。
●当ページにおける「業界最高水準」の表記に関しては2023年当社調べによるものです。