IT-470F-H

装置搭載型 非接触放射温度計

自社開発の高感度サーモパイルセンサを搭載し、長年の放射温度計開発のノウハウを結集して実現した、業界最高水準の高精度な装置搭載型放射温度計です。
半導体・FPD製造など、高精度な温度測定が必要な分野で、プロセスの安定性向上に貢献します。

 

事業セグメント: 環境・プロセス
製品分類: 放射温度計
  • 高い絶対精度:±0.1°Cと再現性(2σ):0.1°Cを実現
     
  • 測定距離150mmにおいてΦ8mmの狭視野を実現
     
  • 汎用性の高い電流出力と、電磁誘導ノイズの影響を受けにくい光デジタル出力の2系統の出力を用意
     

※一定条件下で使用した場合の実力値です。

 

用途

  • サセプタが真空チャンバー内にある場合の温度測定例
    窓を通して真空チャンバーの外からサセプタの温度測定が可能です。

     
  • FPD製造プロセスにおける液晶基板の表面温度測定例
    非接触測定のため、被測定物の表面に傷が付いたりすることがありません。

     
  • 研磨時の温度管理例
    非接触測定のため、被測定物の表面に傷が付いたりすることがありません。

     

注記
本製品の性能を最大限に引き出すため、お客様のご用途の詳細(測定対象物や設置環境など)をもとに、お打合せ、お見積させていただきます。

●当ページにおける「業界最高水準」の表記に関しては2023年当社調べによるものです。

測定波長8〜14μm
測定温度範囲-50〜200℃
出力分解能光デジタル出力:0.1℃、電流出力:0.025%FS以下
測定精度
(光デジタル出力)
±4.0℃(対象温度 -50℃)
±0.8℃(対象温度 -20℃)
±0.6℃(対象温度 0℃)
±0.5℃(対象温度 23℃)
±0.4℃(対象温度 100℃〜)
(中間点は、直線補間し、小数点以下第2位を四捨五入する)
再現性
(光デジタル出力)
0.7℃(対象温度 -50℃)
0.5℃(対象温度 23℃)
0.5℃(対象温度 200℃)
(放射率1.000の場合、10回測定、2σ)
応答速度
(光デジタル出力)
光デジタル出力:1.4秒以下(移動平均1秒、95%応答)
データサンプリング周期0.1秒
データ送信レート光デジタル出力:0.2秒、電流出力:0.1秒
測定視野Φ8mm以下/距離150mm(入射光量90%)
放射率設定0.001〜0.999任意(工場出荷時に設定)
使用温湿度範囲温度0〜55℃、相対湿度35〜85%RH(結露無きこと)
電源DC24V±5%
機能光デジタル出力(JIS F05型)、電流出力 4〜20mA(負荷抵抗100Ω、非絶縁) フランジによる光軸調整済み
外形寸法55×44×96mm 電源、電流ケーブル付き(標準長さ2m)
質量300g以内

※条件:周囲温度24〜29℃(温度計取り付け部の温度も含む)、湿度55±20%、放射率補正設定1.000、外乱なきこと。

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