| 分析手法 | 分析対象 | |
|---|---|---|
| 表面分析 | マーカス型グロー放電分析（GD-OES） | 元素分析・定量分析・深さ方向分布 |
| 分光エリプソメトリー | 膜厚・光学定数（屈折率・消衰係数など）表面ラフネス・バンドギャップ・結晶化率・多層膜構造 | |
| 分光分析 | 蛍光分光 | 蛍光・りん光スペクトル・蛍光寿命 |
| ラマン分光 | 構造解析（定性・結晶性・応力・配向など）のポイント分析とマッピング・TERS | |
| フーリエ変換赤外分光光度計（FT-IR） | 構造解析（定性・結晶性など）のポイント分析とマッピング | |
| カソードルミネッセンス（CL） | バンドギャップ・欠陥・不純物のポイント分析とイメージング | |
| フォトルミネッセンス（PL） | バンドギャップ・欠陥・不純物のポイント分析とマッピング | |
| 油分濃度計 | 油分濃度 | |
| 元素分析 | エネルギー分散型X線分析（EDX） | 元素分析のポイント分析とマッピング |
| 蛍光X線（XRF） | 元素分析・定量分析 | |
| 顕微蛍光X線（µ-XRF） | 元素分析・定量分析のポイント分析とマッピング | |
| 無機／有機 元素分析 | 炭素・硫黄/酸素・窒素・水素の定量分析 | |
| 粒子解析 | レーザ回折／散乱法 | 粒子径分布（粒度分布） |
| 動的光散乱法 | 粒子サイズ・ゼータ電位・分子量 | |
| クロマトグラフィー | イオンクロマトグラフィー | イオン種の定量・定性分析 |
| 画像 | X線透過観察 | X線透過画像 |
| 電子顕微鏡 | 反射電子像・二次電子像 | |
| 光学顕微鏡 | 明視野・暗視野・偏光観察・微分干渉 |
