ダイヤモンドライクカーボン(DLC)の膜質評価


分光エリプソメータによる膜質評価

自動車部品の摺動部には高硬度、低摩擦係数、耐摩耗性など、優れたトライボロジー特性を持つDLC膜が使用されています。UVISEL Plusを用いることで、DLC膜の膜質を非破壊・非接触で評価することが可能です。

、非破壊・非接触で光学定数と膜厚を求めることで、DLC 膜を分類

分光エリプソメータ UVISEL Plus

Åオーダの膜厚の光学定数評価
機械的動作を伴わない位相変調方式と温調機能により、振動などの影響を抑え、高いSN比で信頼性のある評価が可能です。
85 μmまでの膜厚評価(膜の状態に依存)
高い波長分解能と独自の光学系により、広いレンジの膜厚評価が可能です。

分光エリプソメータ UVISEL Plus

DLC膜中の水素量判別


グロー放電発光表面分析装置によるベーキング前後の水素量比較

GD-Profiler2ならDLC中の元素の深さ方向分析が水素から可能です。ステンレス上に施されたNiPめっきのベーキング前後の水素のプロファイルに大きな違いが見えます。ベーキングにより水素が放出されたことが分析できました。

左図:ベーキング前 右図:ベーキング後

マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置 GD-Profiler2

迅速かつ簡単に深さ方向の元素分布を評価
H~Uまで検出可能
化合物半導体薄膜の研究開発・生産技術・品質管理の分野で幅広く活用

マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置(GDS) GD-Profiler2

DLCの特性評価


ラマン顕微鏡によるDLCの膜質評価

ラマン顕微鏡なら、非破壊・非接触でG-bandとD-bandのピーク強度比やピーク位置を確認でき、DLCの膜質を簡単に評価できます。また、サブミクロン空間分解能で構造解析も可能です。


ラマン顕微鏡 XploRAシリーズ

明・暗視野、偏光、微分干渉などの観察機能
物質の化学組成の同定、分子構造の解析に最適
高速・多彩なオプションに対応

ラマン顕微鏡 XploRAシリーズ

摩擦界面のその場観察


プローブラマンシステムを用いたトライボフィルム形成のリアルタイム観察

潤滑油環境下において焼付きを防ぐトライボフィルムが形成されるメカニズムをその場で観察するため、プローブラマンシステムを用いた以下の実験系を用いて検証しました。


プロセスラマンシステム

顕微ラマンと組み合わせ可能
リアルタイムでモニタリング可能
用途に応じた多彩なラマンプローブ

プロセスラマンシステム


潤滑油中摩耗粉の粒子径測定


レーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置のペーストセルを用いたグリスの原液測定

コンディションモニタニングの油中摩耗粉の粒子の大きさを測定することで、機械の劣化進行状態の判別が可能です。 ペーストセルを使用することで、試料を溶剤で薄める必要なく、グリスをそのままセットして測定が可能です。


レーザ回折 / 散乱式粒子径分布測定装置 Partica LA-960V2

粒子径10 nm ~ 5000 μm まで対応
NISTトレーサブルな標準試料に対して±0.6% の高精度保証
高濃度セルを用いて高濃度状態での粒子径分布が測定可能

レーザ回折/散乱式粒子径分布測定装置(粒度分布) LA-960V2シリーズ

試料表面温度の連続モニタリング


放射温度計による温度モニタリング

非接触のため回転体の温度測定も可能。タイヤやベアリングなどの摺動面の連続温度測定などに。PCと接続するための専用ソフトウェアを用いてPC接続できます。


放射温度計 IT-480シリーズ

業界最高水準※の高精度温度計 ※2020年当社調べ
国家標準に沿った設備で調整・校正


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