Photoluminor-D

シリコン中不純物定量分析用フォトルミネッセンス測定装置

Photoluminor-Dはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開発されました。シリコンは最もよく使用されている半導体です。フォトルミネッセンス法は品質管理に応用すぺく長年研究が行われてきました。1977年電子技術総合研究所の田島道夫博士はシリコン中の不純物定量分析をフォトルミネッセンス法で評価する方法を開発されました。この方法によりシリコン中のB, P, Al, As 不純物がpptオ一ダーで解析出来るようになりました。PL法によるシリコン中の不純物定量分析は、現在ではASTMとJISに登録されています。

事業セグメント: 科学
  • 液体ヘリウム温度での測定が可能
  • 1サンプル60秒での高速測定
  • TVカメラを用いて測定箇所を容易に特定
  • 検出器やサンプルチャンバを追加・改造が容易なフレキシビリティ
  • 1×1011~5×1015(atoms/cm3)の範囲のシリコン中P、B、As、Al濃度を測定

分光器

焦点距離1000 mm
スキャンスピード300 nm/秒
波長精度±0.03nm
波長再現性±0.015nm
クライオスタット標準装備
照射径100 μm (Min)

検出器

感度波長範囲800~1700 nm
冷却方式液体窒素
アレイ数1024×1
画素サイズ25 μm

 

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