従来、ICPや原子吸光法などを用いて分析されていたPMの成分分析を、HORIBA独自の低バックグランド捕集フィルタを採用した蛍光X線分析装置で実現しました。PMを捕集しながらPM質量濃度も測定できるため、PMの質量濃度と各元素の濃度を比較測定するなど、PM発生源推定の指標となるデータを取得できます。

蛍光X線分析装置に搭載できる専用ソフトウェアを設計しました。分析経験の浅いオペレータの方でもワンボタン操作で手軽に測定結果が得られます。金、プラチナ、銀のグレード判定に対応します。

試料に合わせた試料室のカスタマイズにより、絵画や大型の基板、TVの液晶などを非破壊で分析。
試料室のカスタマイズにより、大型の試料も非破壊で測定できます。 実施例: 
  • 12インチウェハ
  • 絵画
  • 大型液晶
  • 大型基板

液体中の無機成分を連続的に濃度管理

液体用フローセルの開発により液体の連続測定ができるようになりました。

生産ラインの液体中の成分濃度を連続的に管理したいというお客様の声をいただきました。
生産ラインからフローセルに液体を導入し、液体を流しながら、または液体を止めて測定できます。測定結果はシリアル通信により外部から取得でき、液体の濃度制御に使用できます。


Roll to Rollプロセスで膜厚や付着量を計測

蛍光X線センサヘッドをRoll to Rollのインラインに設置し、連続的にコーティング膜厚を測定できます。

蛍光X線の光学系をインラインで使用することで、フィルムコーティング、金属の膜厚やペーストの付着量等の連続検査が可能となり、抜き取り検査が不要になります。専用ソフトを使用することで膜厚が管理範囲内にあるかが一目で判別でき、測定結果はシリアル通信により外部から取得できます。