蛍光X線分析（XRF）装置の機能と特長

HORIBAのXGT-9000シリーズは、上面からX線を照射し、発生した元素固有の蛍光X線を検出します。

照射X線と観測用光軸を同一軸にレイアウトしたことで常に「観察位置＝分析位置」を実現。透過Ｘ線検出器により内部異物の検出も可能。ステージ上の試料にスポットライトを照射してあらゆる角度から解析でき今までにない分析アプローチが可能になりました。

周囲照明だけでは見えない鏡面上のパターンや、欠陥も同軸照明を加えることで鮮明に観察ができます。金属やガラス、Siウェハなど鏡面試料の測定の際に有効です。

透過照明と周囲照明を組み合わせることで異物の輪郭と形状を鮮明に見ることが可能です。

可変フォーカスで顕微鏡の焦点位置が変えられることにより、見たいところをより鮮明に見ることができるようになりました。段差のある試料もフォーカスの調整により測定位置決めが簡単になります。

垂直照射/X線と光学像の同軸観察により測定位置がずれません。

特徴点として特定元素を強調表示することで、異物・故障などを発見しやすくなります。左側の生データの元素マップ像では、わかりにくいフィルム中の埋没異物も画像処理をすることで右側のマップ像のように強調表示が可能です。

従来、CuとTaのように近接したピークの元素が共存した場合には、見分けることが困難でしたが、ピーク分離モードにより、バックグラウンドやピークオーバーラップの影響を排除したマップが得られます。

元素像と透過像から得られた情報を掛け合わせ、特徴点を強調して表示します。単なる足し合わせでは画像が平滑化されてしまいますが、透過像の印影情報を掛け合わせることでより鮮明なイメージング像を取得でき、不良解析などに貢献します。

装置内顕微鏡像より、コントラストの暗い領域を自動認識し、粒子を検出します。粒子座標と粒子径情報を取得でき、さらに検出条件に従い、測定点として自動登録することも可能です。

XGT-9000のマッピング機能を使って見つけた異物をポイント分析により元素分析を行い、 さらにその測定位置座標ファイルを読み込んで他の装置と共有することができます。例えば、ラマン分光分析で同一点の測定すると、構造情報が得られるため、異物の性状把握をより効率的に行うことが可能です。