エネルギー分散型X線分析装置 EMAX ENERGY EX-250/350/450

概要

【最新モデル】 エネルギー分散型X線分析装置
EMAXEvolution EX-270/370/470はこちら


 電子顕微鏡と組み合わせて微小領域の異物解析、組成分析に最適です。分析業務全体をわかりやすくサポートするフローチャート形式のナビゲータを搭載。高度な機能を使いやすく−これからのX線分析装置の姿です。

特長

  • マニュアルレスの簡単操作。
    ナビゲータ機能とアドバイザ(バブルヘルプ・チュートリアル)で、マニュアルレスでの操作が可能です。
  • 全元素情報を一気に取得するスマートマップ。
    従来にない新しいマッピング方式の採用で効率的な分析を可能に。
    1回の測定で全元素のマップを自由に表示できます。
  • ポイント&IDで電子顕微鏡を自在にコントロール。
    EMAXに取り込んだ電子顕微鏡像上で測定領域を指定すれば次々に測定を開始しデータを保存します。
    元試料がなくても、スマートマップデータから自由にスペクトルを呼び出すことができます。——スペクトル再構成

X線分析装置の測定原理について

【X線検出器の構造】

X線検出器の構造

【X線の発生と特性X線】
X線の発生と特性X線
電子銃から放出された電子は、試料表面からある深さまで入り込み、各種の電子線やX線を発生します。X線分析装置は、特性X線を用いて、試料の構成元素分析を行うことができます。

【特性X線と連続X線】
入射電子によって、原子核をまわる電子が原子の外にはじき出されてできる空位により高いエネルギー準位にある電子が移ります。このとき、過剰なエネルギーが元素特有のX線(特性X線)となって発生します。特性X線はスペクトル上ではピークとして表示されます。このほかにも入射電子は原子核の影響を受け軌道を曲げられた時に、エネルギーを失い連続X線を発生します。そのスペクトルはバックグラウンドとして表示されます。
■電子線励起
特性X線と連続X線特性X線と連続X線

 

特性X線と連続X線


製造会社: HORIBA

仕様

■形式

EX-250

EX-350

EX-450

■検出器部

◎検出器/分解能

LN2仕様

137ev

133ev

133ev

X-act仕様

133ev

129ev

129ev

X-Max仕様(20、50、80mm2

127ev

127ev

127ev

■分析部

コンピュータ

IBM PC/AT互換機 OS: Windows

ディスプレイ

17インチカラーCRT(標準)、21インチカラーCRT(オプション)

コンピュータインターフェース

IEEE 1394 PCI接続

電源

電圧:AC100 V±10%以内

周波数:50/60 Hz

消費電力:200 VA(標準仕様)

アース:設置抵抗100 Ω以下(電気設備技術基準第3種相当)

電源取り合い:3 Pコンセント

質量

約93 kg(分析部、パソコン、21インチカラーディスプレイ、プリンタ、PCラック含む)

外形寸法

800(W)×800(D)×約1500(H)mm   ※標準ラック使用時、プリンタ200mmを含む

標準付属品

インクジェット式カラープリンタ、ラック

■機能比較

◎アナライザ

自動定性、KLMマーカ

スペクトル比較

スペクトルオーバーレイ

エレメントキャッチェー

定量

スペクトルマッチング

スペクトル合成(チェックトータル)

◎マッピング

スマートマップ

線分析

定量マップ

相分析

多相マップ(カメオプラス)

◎ポイント & ID

分析エリア自動収集/スペクトル再構成

ライン&グリッド

◎広域自動分析(オートメート)※1

◎広域マッピング(モンタージュ)※1、2

◎自動粒子解析(フューチャー)※1

◎GSR※1

◎ドリフト補正(Site Lock)

◎Thin Film ID(薄膜解析ソフトウエア)

                             ●標準  ○オプション

※1:SEM側に別途オートステージ・通信機能が必要です。対応SEMの型式をご確認ください。
※2:広域マッピング(モンタージュ)には広域自動分析(オートメート)が必要です。
※記載の商品名及び社名はそれぞれ各社の商標または登録商標です。
※Microsoft Wordは製品に含まれていません。

外形寸法図・他(単位:mm)

外形寸法図(単位:mm)