液体材料気化システム MI-1000/MV-1000 series

概要

純水や液体材料を気化(ガス化)する気化システムです。キャリアガスを用いた気液混合方式により液体材料を瞬時に気化します。
システム構成として、液体材料の流量計測を行う"液体マスフローメータ"、キャリアガスの流量制御を行う"マスフローコントローラ"および気化システム"MI/MV"を基本構成とし、お客様のご用途に応じて、バルブ、フィルター、加温ヒーターなどの機器をシステムアップします。

特長

  • 気液混合気化方式により、高沸点液体材料の安定気化が実現
  • 高効率気化方式により、自己分解材料の安定気化が実現
  • 低温度・大流量発生が可能
  • コンパクトな気化システムの構築が行え、理想的なレイアウトデザインが可能
  • RoHS指令対応

システム構成例

液体材料気化システムをトータルにサポート

プロセスに応じた液体材料気化システム(インジェクション方式、ベーキング方式)へ、液体材料マザータンクから安全に迅速に液体材料を自動供給する総合的なシステムをご提供しています。

液体材料を“安全に”“無駄無く”“迅速に”気化システムへ自動に供給


製造会社: HORIBA STEC

仕様

型式

MI-1000

MV-1000

対応液種

HCl.HF等のステンレスを腐蝕する液体を除く

接ガス部材質

SUS316L,PFA

設定温度

Max 140℃

Control Valve: Max 140℃
Vaporizer: Max 200℃

使用温度センサ

熱電対 K タイプ(CA)

熱電対 K タイプ(CA)

リーク規格

1×10-8 Pa·m3/s (He) 以下

内部リーク規格

1×10-6 Pa·m3/s (He) 以下

標準継手

液体入口:1/8VCR タイプ Male、 ガス入口:1/4VCR タイプ Female、 ガス出口:1/4VCR タイプ Male 

液体入口:1/8VCR タイプ Male、 キャリアガス入口:1/4VCR タイプFemale、ガス出口:1/2VCRタイプ Male

使用可能周囲温度

15℃ 〜 50℃

15℃ 〜 50℃

耐圧

1.0MPa (G)

1.0MPa (G)

オプション

空圧弁(内部リーク規格:1×10-9 Pa·m3/s (He) 以下)

※発生流量については、ご使用になる“液体材料”“発生量”“発生条件”等により違いが生じます。別途お打合せの上最適なモデルをご提案いたします。
※本体内部に加温ヒータ、温度センサ、スイッチを搭載しています。仕様については別途ご確認ください。

外形寸法図・他(単位:mm)

外形寸法(単位:mm) MI-1000
外形寸法(単位:mm) MV-1000

アプリケーション

幅広い産業でご使用いただいています

  • 各種生産装置への搭載:半導体、液晶、LED、太陽電池、パワー半導体、光ファイバー、コーティング
  • 一般産業:雰囲気ガス制御、混合ガス発生
  • 研究・開発:各種ガスセンサー性能評価機器、触媒性能評価機器、バイオ関連評価機器、燃焼器具性能評価機器
  • ラボ:各種実験用ガス流量制御機器

液体材料気化システムをトータルにサポート

プロセスに応じた液体材料気化システム(インジェクション方式、ベーキング方式)へ、液体材料マザータンクから安全に迅速に液体材料を自動供給する総合的なシステムをご提供しています。

液体材料を“安全に”“無駄無く”“迅速に”気化システムへ自動に供給