シリコン中不純物定量分析用フォトルミネッセンス測定装置 Photoluminor-D

概要

フォトルミナーDはシリコン中の微量不純物分析用途を目的として開発されました。シリコンは最もよく使用されている半導体です。フォトルミネッセンス法は品質管理に応用すぺく長年研究が行われてきました。1977年電子技術総合研究所の田島博士(現在:宇宙科学研究所)はシリコン中の不純物定量分析をフォトルミネッセンス法で評価する方法を開発されました。この方法によりシリコン中のB,P,Al,As 不純物がpptaオ一ダーで解析出来るようになりました。PL法によるシリコン中の不純物定量分析は、現在ではASTMとJISに登録されています。

特長

  • シリコンのPL測定は弱励起下で行われなる必要があります。強励起下では液滴と呼ばれる現象が発生し正確な検量線を作成することか出来ないからです。当初はこの測定の為だけに特殊コーティングしたF/0.9の明るい8枚組みのアプラナート・レンズか設計されました。(現在は、検出器の感度向上のおかげで、PL-Sと同等の集光レンズか採用されています。)
  • PL-DにはTVカメラが付随し、操作性を向上させています。TVカメラにより再現性良くサンブルの位置合わせを行い、励起光密度を一定に保つ事が可能です。
  • 専用ソフト「AMAMI」によりB,P,Al,Asの定量分析ばかりでなく、低抗率とP/N判定も同時に行います。

製造会社: HORIBA