ブランクマスク異物検査装置 PR-PD2BLI

概要

ブランクマスク異物検査装置 PR-PD2BLIはブランクマスクをエッジで保持し、0.1μm/5.5minの高感度・高速測定を実現しています。マルチローダ・アンローダ対応もしています。

受賞歴

  • 高感度・高スループット
    0.1μm/5.5 min (142mm)
    0.15μm/2.75 min (142mm)
    0.2μm/33 sec (142mm)
  • マルチローダ/アンローダ対応

 

 


製造会社: HORIBA

仕様

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アプリケーション

  • リソグラフィ工程におけるブランクスマスク/レチクルの異物検査
  • 受入検査や定期検査