2020年12月11日 -
詳細
2019年12月11日 - 半導体の微細化に伴い複雑化するガス流量制御に対応
2019年4月26日 -
2018年7月30日 - 社外の「分析計測技術」研究者の奨励賞
2018年7月 2日 - 半導体製造プロセスにおける流体計測・制御技術の開発力を強化
2018年5月18日 - 拡大する半導体市場に向けて、供給力を強化
2018年2月23日 -
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