2009年12月 1日 - 世界初 4項目全て自社センサー搭載 エネルギー変換効率の安定化に寄与
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2009年7月31日 - 社外の「分析計測技術」研究者の奨励賞
2009年3月27日 - 「半導体材料表面コンタミネーションの高感度・非破壊計測」
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