2010年8月 3日 - 中国国内の太陽電池製造装置メーカーへの迅速供給体制構築へ

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2010年7月 6日 - 韓国国内の半導体・LED製造装置メーカーへの迅速供給体制構築へ 生産ラインを韓国 現地販売・サービス法人内に新設

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2010年4月20日 - 微細化する次世代LSIに対応

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2009年12月 1日 - 世界初 4項目全て自社センサー搭載 エネルギー変換効率の安定化に寄与

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2009年7月31日 - 社外の「分析計測技術」研究者の奨励賞

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2009年3月27日 -  「半導体材料表面コンタミネーションの高感度・非破壊計測」

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2008年12月15日 - 半導体分野製品を仏から日本に移管 アジア中心に製造装置メーカー・生産ライン向け本格参入 国産品プラズマ発光分析エンドポイントモニターを販売開始 半導体ドライプロセスの生産性向上に貢献

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