
薬液濃度モニタ
HORIBAは半導体製造における洗浄、エッチングプロセスで使用されるSC-1、SC-2、SPM、HFなどの各種薬液濃度をリアルタイムで高精度に、安定性よく測定する薬液濃度モニタを提供しています。
HORIBAの薬液濃度モニタは混合液の各成分濃度を最大8成分までリアルタイム測定できるモデル(CS-700)や、光ファイバを採用したインライン・マルチモニタリングモデル(CS-600F, CS-100F1シリーズ)、高安定性を誇るベンチトップタイプ(CS-100シリーズ)など様々なタイプをラインナップしています。
また、混合液だけでなく単成分の薬液濃度を測定するモデルも取り揃えています。
ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適、低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度に測定
【新製品】
ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適な、低濃度から高濃度までのフッ酸・塩酸を高精度に測定するHF/HCl濃度モニタ
2ch HF濃度計 HF-SP-CUは2chの入力をもつHF濃度計です。半導体プロセスなどで使用される高精度なHF濃度のモニタリングを1台で2chの測定を行うことができます。
高精度センサ FS-07F-T3.5との組合せ使用。
溶存オゾンモニタ HZ-960はPost Cleaning、FEOL プロセスでのクリーニング処理、高濃度オゾン水によるレジスト剥離処理、など半導体Wet処理プロセスで使用されるオゾン水の溶存オゾン濃度モニタです。
過酸化水素水モニタ HZ-960HPO-Mは半導体や太陽電池の洗浄プロセスにおいてパーテクル除去や不純物金属イオン除去に使用される過酸化水素水の濃度をモニタリングします。
HF中の超低濃度溶存酸素濃度が測定可能。ug/Lオーダーからmg/Lオーダーまで3つの測定レンジの自動切り替え装置搭載。少量サンプルも測定できます。耐薬センサ対応。
リン酸濃度モニタ HE-960H-PA は半導体エッチングプロセスで使用されるリン酸(リン酸単液)(濃度:80-90wt% 温度:20-100℃以内)の濃度をモニタリングすることができます。
低濃度タイプのカーボンセンサ導電率計。耐薬品性に優れた2極式カーボンセンサを採用。測定濃度範囲:0 - 1000 μS/cm, 0 - 10000 μS/cm (Sensor FS-07F)