2ch HF濃度計 <HF-SP-CU>

概要

2ch HF濃度計 HF-SP-CUは2chの入力をもつHF濃度計です。半導体プロセスなどで使用される高精度なHF濃度のモニタリングを1台で2chの測定を行うことができます。高精度センサ FS-07F-T3.5との組合せ使用により、半導体先端プロセスに適した測定レンジ2種切替機能を持ち、最小+/-2ppmの繰り返し性があります。(条件による)

特長

  • 低濃度(2000ppm)、高濃度(12000ppm)を1台でモニタすることができます。
  • 高精度な繰り返し性 最小 +/- 2ppm (ただし条件による。) を実現
  • 伝送出力(アナログ)2ch、またデジタル出力(CUnet)を装備
  • 高い耐薬品センサの採用
  • FS-07F-T3.5 との組わせ使用
  • 接液部材質にガラスカーボン、PFA、パーフロエラストマを使用

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

● PDFtest

■本体定格

製品名

2CH高精度HF濃度計

型式

HF-SP-CU

接続センサ数

最大2ch

伝送出力

出力点数 2点

電源

定格電源電圧 DC 24V ±10%以内

外形寸法

200(W)×200(D)×30(H)

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

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