フッ酸濃度モニタ <HF-960H>

概要

高濃度域のフッ酸・塩酸などの測定に最適
HF-960Hは、半導体製造プロセスなどに使用されるフッ酸・塩酸濃度を高精度に測定します。専用センサのFES-510シリーズは耐薬品性の高い材質を使用していますので、高濃度域のフッ酸・塩酸管理として最適な構造です。
耐薬品性に優れたセンサ採用

特長

  • ワイドレンジ対応
  • 表示レンジ自動切替
  • HF濃度・HCl濃度・導電率・温度の4種類の測定が可能
  • DC24V電源
  • RoHS対応品

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

形式

HF-960H

周囲使用温湿度

温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと)

電源

DC24V ±10%  10W(max)

保護構造

パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内設置型)

質量

約550g

適合規格

CEマーキング、FCC Part15

適合センサ

FES-510シリーズ(流通型カーボンセンサ)

外形寸法図・他(単位:mm)

Dimensions of HF-960H

カタログ

製品カタログ

分野別シリーズカタログ

電子デバイス WETプロセス計測機器

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

カスタマーサポートセンターでは、お電話でも製品の技術的なご質問や仕様のご相談を承ります。

株式会社 堀場製作所
カスタマーサポートセンター

フリーダイヤル 0120-37-6045
受付時間:
9:00~12:00/13:00~17:00
月曜日~金曜日(祝日をのぞく)

関連製品

低濃度HF/HCl/NH3濃度モニタ HF-960M 製品画像

ワンバス洗浄・枚葉洗浄に最適、低濃度のフッ酸・塩酸・アンモニアを高精度に測定

製品画像

ウェットプロセスにおける硫酸・過酸化水素中のppmレベルのフッ酸濃度管理を実現