半導体製造プロセス用 HF濃度計 <HF-960EM>

概要

HF-960EMは、接液部を完全PFAとしたセンサを採用し、半導体プロセスでの清浄度要求にマッチするモデルです。センササイズを極限まで絞り込み、省スペース設置への対応を実現しました。安定性および再現性精度を向上し、HF濃度50%までのワイドな測定レンジに対応。

特長

  • HF濃度50%までのワイドレンジ設定
  • 高安定性/再現性精度
    温度測定センサ内蔵し、80℃までのHFサンプル測定に対応。 FS ±0.5%の再現性精度を実現します。
  • オートレンジ対応機能
  • コンタミフリー/耐薬液センサ
    接液材質をPFAのみとしたクリーン構造のセンサを採用。耐薬性のあるセンサなので半導体プロセスで使用されるさまざまな薬液の測定にも対応可能です。
  • 小型化、軽量化を実現したセンサ
    当社従来比2/3のダウンサイズ、さらに大幅な軽量化を実現。枚葉噴射ノズルの手前に設置するなど設置スペースの自由度が向上しました。

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

型式

HF-960EM

測定レンジ

HF: 0 - 50%, HCl: 0 - 10%, 導電率: 0 - 2000 mS/cm

繰り返し性

フルスケールの+/- 0.5% 以内(等価入力にて)

直線性

フルスケールの+/- 0.5% F.S. 以内(等価入力にて)

伝送出力

出力点数:4点

接点出力

出力点数:5点

接点入力

入力点数: 2点

通信機能

RS-485

電源

DC 24 V +/- 10% 15W

適合センサ

CM-520 Series

接液部

PFA

外形寸法図・他(単位:mm)

HF-960EM外形寸法図

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