微量フッ酸濃度モニタ<HF-700>

概要

ウェットプロセスにおける硫酸・過酸化水素中のppmレベルのフッ酸濃度管理を実現
エッチングプロセス後のポリマー残渣物の除去に効果的な役割を果たす硫酸・過酸化水素・微量フッ酸の水溶液では、ppmレベルのフッ酸濃度管理が非常に重要となります。HF-700を用いることで、硫酸・過酸化水素中のppmオーダーのフッ酸濃度を安定して連続測定できるため、効果的なプロセス管理を行うことができます。

特長

  • 安定したHF濃度の連続測定が可能
  • 用途に応じて選べる4種の運転モード
  • タッチパネルで簡単操作
  • pH電極、イオン電極はチップ式で交換が簡単

※詳細はお問い合わせください。


製造会社: HORIBA Advanced Techno

外形寸法図・他(単位:mm)

Dimensions of HF-700

カタログ

製品カタログ

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