リン酸濃度モニタ <HE-960H-PA>

概要

リン酸濃度モニタ HE-960H-PA は半導体エッチングプロセスで使用されるリン酸(リン酸単液)(濃度:80-90wt% 温度:20-100℃以内)の濃度をモニタリングすることができます。

ガラスカーボンセンサを採用、高濃度での分極影響を極力抑え、リン酸単体濃度で80-90wt%の濃度測定が可能です。

特長

  • 半導体エッチングプロセスのリン酸濃度モニタリング
  • プロセスモニタリング用途に最適
    4ch 伝送出力(アナログ)を用意
    5ch 接点出力を用意
    デジタル出力 RS485を用意
  • ガラスカーボン電極採用(適応センサ:FES-510シリーズ)
    高濃度リン酸濃度を精度よく測定

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

製品名

高濃度リン酸濃度計

型式

HE-960-PA

測定範囲

リン酸濃度  80-90wt%

伝送出力

4点

通信出力

RS-485

電源

定格電圧 DC 24V 10W(max.)

外形寸法

96(W) mm x 96(H) mm x 115(D) mm 

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

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