TMAH濃度モニタ <HE-960H-TM>

概要

現像液TMAHの濃度管理に最適
HE-960H-TMは、半導体・液晶プロセスで用いられるフォトレジスト現像液の主成分であるTMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)濃度を高精度に測定します。専用センサのFES-510シリーズは、ワイドなレンジ幅を備えた耐薬性の高い製品としてTMAH測定用に最適です。
耐薬品性に優れたカーボンセンサ採用

特長

  • ワイドレンジ対応
  • 表示レンジ自動切替
  • TMAH濃度・導電率・温度の3種類の測定が可能
  • 耐薬品性カーボンセンサ採用
  • 伝送出力4チャンネル
  • DC24V電源
  • RoHS対応品

製造会社: HORIBA Advanced Techno

仕様

形式

HE-960H-TM

測定方式

導電率測定-濃度換算

周囲使用温湿度

温度:-5~45℃、湿度:20~85%(結露しないこと)

電源

DC24V ±10%  10W(max)

保護構造

パネル部:IP65、リヤケース:IP20、端子部IP00(パネル取付屋内設置型)

質量

約550g

適合規格

CEマーキング、FCC Part15

適合センサ

FES-510シリーズ(流通型カーボンセンサ)

外形寸法図・他(単位:mm)

Dimensions of HE-960H-TM

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TMAH用導電率計 HE-960TMは、半導体・液晶プロセスで用いられるフォトレジスト現像液の主成分である、TMAH (Tetra Methyl Ammonium...