液体材料気化システム
様々な液体材料に対応する気化システム・自動供給システムをご提案いたします。HORIBAの液体材料気化システムは3つの気化方式（直接気化方式、混合気化方式、ベーキング方式）を採用しており、お客様の使用用途に応じて最適なソリューションを提供いたします。バブリング方式を用いての気化システムにおいても実績がありますので、お気軽にご相談ください。
また、液体マスフローコントローラ&メータも幅広くラインナップしております。
これらの製品には当社独自の最先端計測・気化方式を多く採用しております。
液体マスフローコントローラでは、冷却測定方式を採用した流量センサを業界内でいち早く開発した(LF-F/LV-Fシリーズ)ほか、高速応答を実現する差圧方式の液体デジタルマスフローコントローラもラインナップしています。(XF-100シリーズ)また、ミックスドインジェクションシステムにはトルネードフロー方式を導入し安定気化を実現しています。(MV-2000シリーズ)
液体材料 対応実績
| Acetic Acid | Benzene | B(OCH3)3 | BTBAS | C6F6 |
| Cyclohexane | Decyl-TMOS | DPM | DPMS | Ethanol |
| Ge(OCH3)4 | GeCl4 | H2O | HCD | HDFDA |
| HMDS | HMDSO | i-Octane | IPA | Me-Cyclohexane |
| Methanol | n-Octane | OMCTS | OMTS | P(OCH3)3 |
| PO(OCH3)3 | SAM24 | Si(CH3)4 | Si(OCH3)4 | SiCH3Cl3 |
| SiCl4 | SiH(OCH3)3 | SiHCl3 | Ta(OC2H5)5 | TBTDETa |
| TDEAHf | TDEAT | TDMAS | TDMAT | TEB |
| TEMAHf | TEMAZr | TEOS | TEPO | THF |
| Ti(O-iPr)4 | TiCl4 | TMCTS | Toluene | 1,3-DMA |
その他の液体材料については別途お問い合わせください。
独自のパルスインジェクションによる気化・霧化技術と最適化されたヒーティングチャンバにより、高信頼性と高い再現性を持った液体材料気化システム。低蒸気圧材料、溶剤中の固体材料、熱分解しやすい液体材料等の気化が可能です。
冷却測定方式の流量センサを搭載した高精度液体デジタルマスフローコントローラ＆メータ。マイクロリッターからの微少流量制御が可能。
