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製品情報

HORIBAは半導体製造プロセスにおけるDry、Wet、Lithographyの各プロセスや研究開発、品質管理、純水から排水までのユーティリティに向けて幅広く製品を提供しています。
長年の経験を通じて培った独自の分析・計測・制御技術によるソリューションでお応えいたします。

マスフローコントローラ
液体材料気化システム
圧力制御機器
真空計測・ガスモニタ装置
混合器・応用システム
プラズマ制御装置
専用アクセサリ
分析・校正サポート
非接触温度計測
レティクル異物検査装置
薬液濃度モニタ
半導体材料分析