真空計測機器・ガスモニタ

HORIBAは世界最小サイズのプロセスガスモニタ、コンパクト・オールメタルタイプのキャパシタンスマノメータ、NDIR法を採用したガス濃度モニタなど様々な種類の真空計測機器・ガスモニタをラインナップしています。

 

コンパクトプロセスガスモニタ

コンパクトプロセスガスモニタ MICROPOLE System

チャンバ内に存在するガス成分をモニターする四重極質量分析計。

キャパシタンスマノメータ

キャパシタンスマノメータ VGシリーズ

コンパクト、オールメタル構造の自己温調型隔膜式真空計

ガス濃度モニタ

チャンバークリーニング終点検知用ガスモニタ IR-422 Series

プロセス装置に搭載し排ガス成分(SiF4、CF4)をリアルタイムにモニタリング可能。

ガス濃度モニタ IR-300 series

バブリング供給ライン用インラインガス濃度モニタ。材料ガスの安定供給に。

チャンバクリーニング終点検知用ガスモニタ IR-200

半導体製造の成膜プロセスは、微細加工の進歩に伴い、処理後のチャンバを常にクリーンな状態に保つことが、生産性向上に重要とされています。IR-200は、排ガス成分をリアルタイムに監視する成膜プロセス用チャンバークリーニング終点検知モニタです。ドライクリーニング終点検知の最適化、クリーニングガス・時間の削減、チャンバーダメージの低減による部品の長寿命化に貢献します。

価格は仕様により異なりますので、別途お見積もりいたします。「見積・資料・お問い合わせ」よりお申し込みください。尚、製品によりましては代理店をご紹介させていただくことがございます。

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株式会社堀場エステック
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