技術情報誌“Readout”

HORIBAでは、技術情報誌としてReadoutを発行しています。誌名“Readout(リード・アウト)”には、HORIBAが創造・育成した製品や技術に関する情報を広く世にお知らせし、読み取って頂きたいという願いが込められています。

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最新の “Readout” 論文

|   技術論文

HORIBA差分方式放射温度計によるドライエッチングプロセス中の非接触Siウエハ温度測定

Abstract

半導体製造プロセスでは, ドライエッチング等の技術を用いてnmオーダーの微細化が進んでいる。 最先端のエッチングプロセスにおいては様々なパラメータを制御・モニタリングすることでプロセスコンディションを管理しており, ”温度”は非常に重要なパラメータの一つである。 特に,…

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|   技術論文

FLIM – an Extra Dimension to Fluorescence Microscopy

Abstract

The use of imaging techniques is of fundamental importance in uncovering the structure and dynamics of both biological substances and…

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|   技術論文

Readout HORIBA Technical Reports March 2025 No.59

特集:水環境を健全に保ち循環型社会の形成に貢献する分析・計測技術
2024 堀場雅夫賞

近年, 地球環境の変化に伴い, 各産業における持続可能な発展への関心は高まっており, 水の効率的利用や再利用が重要視されています。その測定要求事項は,上水から有機物が浮遊する湖沼まで,…

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技術コラム

HORIBA製品を支えるさまざまな分析・計測技術の一端をご紹介します。

非分散形赤外線吸収法(NDIR)技術

グレーティング(回折格子)技術

次世代赤外分光技術 IRLAM

pH・水質の話[解説・てびき]

分析機器・科学機器遺産