冊子版 最新号
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HORIBAでは、技術情報誌としてReadoutを発行しています。誌名“Readout（リード・アウト）”には、HORIBAが創造・育成した製品や技術に関する情報を広く世にお知らせし、読み取って頂きたいという願いが込められています。
Abstract
半導体製造プロセスでは, ドライエッチング等の技術を用いてnmオーダーの微細化が進んでいる。 最先端のエッチングプロセスにおいては様々なパラメータを制御・モニタリングすることでプロセスコンディションを管理しており, ”温度”は非常に重要なパラメータの一つである。 特に,…
The use of imaging techniques is of fundamental importance in uncovering the structure and dynamics of both biological substances and…
近年, 地球環境の変化に伴い, 各産業における持続可能な発展への関心は高まっており, 水の効率的利用や再利用が重要視されています。その測定要求事項は,上水から有機物が浮遊する湖沼まで,…
