レティクル/マスク異物検査装置PD Xpadionの紹介 ～多種多様な顧客要望に対応可能なプラットフォームを構築～

*株式会社堀場製作所

PDは半導体製造プロセスの露光工程で使用されるレティクル／マスク上の異物を検査する装置である。これまで市場やアプリケーション毎に開発していたPDシリーズを一つのプラットフォームに統合し，2021年に新製品となるPD Xpadionを開発した。高いカスタマイズ性を持ち，多種多様な半導体市場の要求に応えられる製品となっている。本記事ではPDの測定原理をはじめ，新製品PD Xpadionの特徴や新機能を紹介していく。