Mask Inspection

レティクル/ブランクス/ペリクルに付着した異物を迅速に測定&除去したい。

レティクル/マスク異物検査装置 PD Xpadion

リソグラフィ工程において異物を迅速に測定&レビュー、スマートファクトリー対応を実現

パーティクルリムーバ RP-1

エアーブローと真空吸引で異物を自動除去

総合カタログ

Answer to Semiconductor

シリコン・化合物の半導体材料分析ソリューションを数多く提案